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 HIROX三維視頻顯微鏡
  KH-8700
  KH-7700
  KH-1300
  鏡頭系列
  擴展接口
  應用舉例
 HIROX桌上型掃描電鏡
 HIROX便攜式數字顯微鏡
 共聚焦干涉顯微輪廓儀
 MEIJI光學顯微鏡
 長工作距離顯微鏡
 遠距離監視儀
數字顯微鏡/光學顯微鏡/掃描電子顯微鏡等
SMT/SEMICONDUCTOR/FPD等電子工業檢測設備
太陽能電池片檢測設備
工業無損探傷檢測設備
司法/刑偵檢測設備
生命科學相關設備
 
 
 

Non-contact Confocal·Interferometry 3D Profiler
共聚焦·干涉顯微輪廓儀

   非接觸式高性能光學三維輪廓儀領域的最新成就-S neox將共聚焦影像輪廓技術和光學干涉測量技術結合在一個沒有任何移動部件的探測部頭(SensorHead),能夠可靠的、準確的測量毫米級至亞納米級尺度樣品表面形貌細節!憑借緊湊和堅固的硬件設計,功能優異的操作界面,S neox成為一種擁有完整的,可獲得快速、非侵入性評估微米和納米級幾何表面的理想工具。其可用于從各種行業RD及QC實驗室,到靈活對不同尺寸大小樣品,乃至到專為在線過程控制所用的各種先進、定制解決方案。S neox優于所有現有的光學輪廓儀。

 

  多焦面疊加

  多焦面疊加技術是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據我們在共聚焦和干涉技術融合應用方面的豐富經驗,特別設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該技術的最大亮點是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大(最大86°)。此功能對工件和模具測量特別有用。

共聚焦(Confocal)

  共聚焦輪廓儀可以測量較光滑或非常粗糙的表面高度。借助消除虛焦部分光線的共焦成像系統,可提供高對比度的圖像。借由表面的垂直掃描,物鏡的焦點掃過表面上的每一個點,以此找出每個像素位置的對應高度最新的實時影像處理引擎"GENEX Engine"配備了世界上最快的211萬像素CCD相機,可實現最快高達24幀/秒的實時圖像直接輸出;趯Ω鞣N場合和觀察操作的假設,我們致力于提供自然、舒適、易用和人機工效極佳的數字式顯微鏡。
  無運動部件的共聚焦

  NEOX系列是采用專利設計的Microdisplay共聚焦掃描技術。Microdisplay使用FLCOS原理,可實現無需機械運動的快速共聚焦掃描。它具有高速,穩定和無限使用時間的特點,F有的其他品牌共聚焦顯微鏡都采用鏡片震動掃描的方式,因為有機械震動會造成測量時抖動,使用時間也有限。



   
  相位差干涉

相位差干涉是一種亞納米級精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術。它的優勢在于任何放大倍數都可以保證亞納米級的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實現超高縱向分辨率的大視場測量。

干涉(Interferometry)


干涉儀中光束會穿過分光鏡,分別照射到樣品表面及一個內置的參考鏡片,兩路光線反射后會形成干涉條紋。
  白光干涉

白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術。它的優勢在于任何放大倍數都可以保證納米級的縱向分辨率。

 

   

多波長的LED光源-紅/藍/綠/白

S neox有4個獨立的LED光源紅色(630nm),綠色(530nm),藍色(460nm)和白色,可以滿足各種應用的需要。較短的光波長可在測量時候獲得最好的水平分辨率。較長的光波長有更好的光學相干性,適合干涉掃描使用。此外紅、綠、藍三色LED交替照明方式還能幫助獲得最真實和高對比度的圖像。

● 順序照明的彩色圖像
每個像素點都能還原真實的色彩

● 交替照明
在掃描時紅、綠、藍三色LED交替照明,并將三張單色的圖片還原成一幅高分辨率的彩色圖像。相比其他品牌采用像素插值算法,S neox用這種技術獲得的圖片色彩保真度和還原性更勝一籌。

 
  3D形貌的最新體驗

  彩色共聚焦觀察方式使用戶能在視場內觀察到納米級的細節。掃描時用紅、綠、藍三色LED交替照明,獲得三張單色的圖像,最后還原成高分辨率彩色圖像和高質量的彩色表面紋理圖。

● 超清晰的細節
用高分辨率的攝像頭將共聚焦的圖像精彩呈現

● 全3D掃描不用3秒
一次完整的3D掃描時間還不到10秒。用高速模式掃描低反射率的樣品時,3D掃描時間將少于3秒。


* 比激光共聚焦更優秀?

根據瑞利分辨率標準。當一個點光源產生的愛里斑的中心正好落在第二個點光源所產生的愛里斑的第一個暗紋上,則他們是“剛剛能分辨”的兩個點。

要提高水平分辨率就要減小入射光波長λ和用更高NA值的物鏡。常數K是與愛里斑的寬度和圖像條件決定的。共聚焦技術將愛里斑的橫向尺寸減小了30%。此外設備還用非相干照明替代了相干光源(激光),以進一步減小了常數K。

因此,S neox的水平分辨率和縱向分辨率要比激光共聚焦顯微鏡更優秀,達到了光學顯微系統的極限。

 

  多樣的配置方案-平臺尺寸


高質量的物鏡,最好的成像質量

S Neox采用尼康優質的平場消色差,高分辨率CF60-2系列鏡頭,
意味著S neox的物鏡可在保證NA值的同時增大工作距離,
使操作更方便。

SensoSCAN-測量及分析軟件

● 為您省時省力

  SensoSCAN是一款簡潔友好的操作軟件。它將引領用戶進入3D的世界,提供獨一無二的用戶體驗。在軟件界面內,用戶可以直觀明確地了解所用的測量方式,同時還能顯示和分析數據。

● 完善系統的完美工具

  導航預覽功能可以自動地幫助用戶在準備測量前大范圍觀察樣品,找到測量點。當轉換倍數時,預覽圖上也會實時顯示當前的觀察點位置。

● 智能編程,全自動測量

  全自動測量是一項標準功能,通過它用戶能輕易地實現可定制的質量管控。對在線測量來說,用戶可以方便地實現產品ID輸入、自動走位測量、自動數據輸出和PASS或FAIL的判斷。
  獨特的算法使S neox能在放置樣品后不到一分鐘就給出結果。所有的數據都是我們專注于質量和高性能的成果。



 

 
     
 
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